8月28日晚，來自遼寧省的兩家半導體裝備類上市公司--拓荊科技(688072)、芯源微(688037)雙雙披露2023年半年報，兩家公司的營業收入和凈利潤均實現增長。

據芯源微半年報，報告期內，公司實現營業收入6.96億元，同比增長37.95%；實現凈利潤1.36億元，同比增長95.48%；基本每股收益0.99元。

芯源微作為國內唯一可以提供量產型前道涂膠顯影機的廠商，經過長期的技術積累和在客戶端的驗證及量產應用，目前已完成在前道晶圓加工環節28nm及以上工藝節點的全覆蓋，并可持續向更高工藝等級迭代。芯源微今年上半年營業收入同比增長37.95%，主要原因是公司產品競爭力不斷增強，收入規模持續增長。

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芯源微上半年研發投入7697.75萬元，同比增長80.33%，研發投入占營業收入的占比為11.07%，主要系公司持續加大研發投入，職工薪酬、研發材料增加所致。今年上半年，芯源微研發人員的數量為306人，上年同期為253人；今年上半年研發人員薪酬合計為4271.19萬元，上年同期為3126.62萬元。

半年報顯示，芯源微目前的在研項目包括前道涂膠顯影設備及核心單元研發和產業化、高端封裝涂膠顯影設備研制、單片式濕法設備研制、核心零部件技術研發，預計總投資規模4.67億元。本期投入金額7697.75萬元，累計投入金額3.17億元。

拓荊科技今年上半年實現營業收入10.04億元，同比增長91.83%；實現凈利潤1.25億元，同比增長15.22%；扣非凈利潤6518.25萬元，同比增長32.65%；基本每股收益0.98元。

今年上半年，拓荊科技營業收入接近翻倍，主要受益于國內晶圓廠持續擴產帶來的需求增加，公司在手訂單充足，產品線不斷完善，新產品在客戶端驗證通過，持續獲得更多客戶的認可。公司新產品及新工藝經下游用戶陸續驗證導入，銷售收入放量增長。

今年上半年，拓荊科技的PECVD設備實現銷售收入9.08億元，較上年同期增長94.35%；HDPCVD設備、應用于晶圓級三維集成領域的混合鍵合設備順利通過客戶端產業化驗證，實現了首臺的產業化應用，ALD設備、SACVD設備持續獲得客戶驗收，均實現銷售收入。

值得注意的是，拓荊科技今年上半年營業收入同比大增91.83%，但是凈利潤和扣非凈利潤增速均明顯不及營業收入。對此，拓荊科技表示，凈利潤和扣非凈利潤低于營業收入增長率，主要原因為本期確認股份支付費用1.26億元，剔除股份支付費用影響后，凈利潤同比增長129.15%、扣非凈利潤同比增長283.68%。

拓荊科技始終在高端半導體專用設備領域深耕，并專注于薄膜沉積設備的研發與產業化，不斷開拓新產品，拓展工藝應用領域，始終保持高強度的研發投入。據拓荊科技半年報，公司今年上半年的研發投入為2.1億元，同比增長78.77%，主要系研發人員薪酬及股份支付費用增加。

今年上半年，拓荊科技在研項目中“PECVD系列產品及工藝開發與產業化項目”、“PE-ALD系列產品及工藝研發與產業化”、“Thermal-ALD系列產品及工藝研發與產業化”、“深溝槽填充薄膜工藝系列產品研發與產業化”預計總投資規模較2022年均有所增加，主要系公司圍繞客戶需求持續優化升級、拓展工藝應用所需研發費用增加。

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