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29日從中國(guó)電子科技集團(tuán)獲悉，該集團(tuán)旗下中電科電子裝備集團(tuán)有限公司已實(shí)現(xiàn)離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國(guó)集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。(科技日?qǐng)?bào))
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